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S-8210二次元光学走査ホルダ
S-8210 M振動子は2 Dスキャンモジュールとして販売された時に箱体を含まず、2軸振動子、2軸駆動板とXYスタンドから構成され、OEM顧客はこのモジュールを自分のシステムに統合することができる。
製品の詳細
高速高精度
大トルク
ていおんひょうはく
コンパクトな構造
ぼうじんぼうがい
インストールが容易
高効率放熱システム
レーザリソグラフィ
オンライン飛行
レーザー医療
科学研究
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モデル |
S-8210M |
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入力スポット径（mm） |
9 |
10 |
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最大スキャン角度 |
±20° |
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許容最大レーザパワー（W） |
Nd:YAG@1064 nm |
80 |
120 |
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CO2 |
70 |
70 |
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小信号ステップ応答時間（1）（ms） |
0.22 |
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めもりそくど(2)（m/s） |
4 |
4 |
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位置決め速度(2)（m/s） |
18 |
18 |
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マーク速度(3)（cps） |
よい品質 |
1000 |
800 |
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高品質 |
760 |
690 |
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ゼロ点ドリフト（μRad./℃） |
<15 |
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比例ドリフト（ppm/℃） |
<50 |
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長時間連続動作ドリフト、8時間以上（mrad.） |
<0.5 |
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せんけいど（4） |
≥99.90% |
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繰り返し精度（μRad.） |
<8 |
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最大平均動作電流（A/単軸） |
2.5 |
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ピーク電流（A） |
15 |
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入力位置信号範囲 |
DC±5V, ±10 V（アナログ電圧信号） |
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入力電源 |
±24 VDC，Max.3.5 A/軸 |
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動作環境温度 |
25℃±10℃ |
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重量（kg） |
0.8 |
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主な応用分野 |
レーザリソグラフィ |
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-すべての角度が機械角です。 |
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-すべてのパラメータは電源投入1分後に測定されます。 |
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（1）この型番のモータに搭載できる最小Y軸レンズを配置し、満幅の1%まで応答する。 |
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（2）焦点距離F=160 mmレンズを用いて測定する、 |
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（3）レンズF＝160 mm、アルファベットと数字からなる1 mmの高さの単線文字を標刻する。 |
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（4）±20°の光学角範囲内の線形度を指す、 |
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